スパッタリング成膜を委託するなら｜ケイ・エム技研

薄膜は、私たちの生活に欠かす事のできないものです。液晶テレビやスマートフォンなどのディスプレイ・CDやDVDなどの記録メディア・リチウム電池や太陽電池などのエネルギーなどといった便利な製品にも特徴的な機能を持った薄膜が使用されております。

成膜（基板となる物質の表面に薄膜を付ける技術）にもいろいろとありますが、そのうちの1つであるスパッタリングのメリットについてご紹介致します。

スパッタリング蒸着の場合、ターゲットを溶解しないので蒸発温度の違う合金または融点がとても高い物質でも「合金」として加工し成膜する事ができます。例えば、Al（アルミ）は耐食性が問題点として挙げられますが、耐食性の良いTi（チタン）を混ぜたAl-Ti合金を成膜する事ができるというわけなのです。

スパッタされた原子のエネルギーは、熱エネルギーをもらって蒸発する蒸着の場合と異なります。とても激しい衝突を経て叩き出されるため飛散する粒子が細かく、蒸着の場合の約0.2eVと比べると約100倍の10eVと非常に大きくなります。つまり、基板への付着力がより強い膜の作製ができるというわけなのです。

湿式成膜の表面処理加工では様々な溶剤（有害物質）が多く使われています。それに対してスパッタリングは溶剤などを使用しません。つまり、反応物による大気汚染や使用済み溶剤の処理問題の心配がないという事です。

環境問題の深刻化が懸念されている今だからこそ、企業もエコな取り組みを意識していかなければなりません。

当社では、スパッタリング成膜の代行サービスを提供しております。基本的には基板が到着した日に作業を致しますので、ご注文から1週間程度で納品する事ができます。事前に見積りをお出ししておりますし、立ち会い作業も可能ですので、安心してお任せ下さい。使用装置やターゲットリスト、受注までの流れについてなど、スパッタリングの委託についてご不明な点があればメールやお電話でお問合せ下さい。