薄膜形成は真空が命といっても過言ではありません。そもそも真空とは一体どのような状態なのでしょうか。
真空には古典論、量子論、JIS、いくつか定義がありますが、ここではJISにおける真空で考えていきます。
皆様は真空にどんなイメージをお持ちですか?一般的に真空というと空気がない状態を思い浮かべるかもしれません。しかし、JISでは大気圧よりも低い圧力の気体が充満した空間を真空と定義しています。簡単に説明すると減圧された状態という事です。
身近なもので例えるなら布団の圧縮袋があります。あれは布団を専用の袋に入れて中の気体を減圧しています。その結果、布団が小さくなり収納しやすくなるのです。しかし、全く空気が存在していないわけではないため、一般的な空気がないという真空のイメージとは違うかもしれません。
ちなみに真空はPa(パスカル)を単位として使い、気体の主成分は水や水素、窒素、一酸化炭素、二酸化炭素などがあります。
薄膜形成は最高10-8Pa程度の気圧状態が必要です。1気圧は1013hPaとなっているため、およそ10兆分の1の気圧状態という事です。そして、真空蒸着やスパッタリングといった物理的方法(PVD)では、高真空(High Vacuum)や超高真空(Ultra-high Vacuum)の圧力範囲が利用されます。一方、化学的方法(CVD)では、低真空(Low Vacuum)や中真空(Medium Vacuum)の圧力範囲を用いるのが一般的です。
酸化しにくく熱が冷めにくいなど、真空空間には様々な特性があります。私たちの周りにはそんな真空下の現象を利用した製品が数多くあり、今後も多彩な産業分野で活躍が期待できるでしょう。
埼玉県越谷市にある当社では真空薄膜形成方の1つ、スパッタリングによる成膜代行をしています。依頼後、1週間ほどで納品致します。ご不明な点があればお気軽にお問い合わせ下さい。樹脂やフッ素樹脂といった高分子薄膜を検討しているなど、ご相談をお待ちしております。
会社名 | 有限会社 ケイ・エム技研 |
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説明 | 真空薄膜形成方のひとつ、スパッタリングで成膜代行を行う【ケイ・エム技研】です。受託成膜も行っており、様々な実験をサポートする事が可能です。成膜代行を依頼するなら、お気軽にお問い合わせ下さい。 |